記者林相如／新市報導
研發出全球最新金屬防鏽技術的態金材料科技，日前在進駐南科園區開幕典禮中，除展示逐漸取代不鏽鋼的液態奈米合金外，更推出以遠超現階段晶圓切割速度近百倍的「粒子束切割與薄化技術」備受矚目。
態金材料科技董事長陳冠維表示，目前台灣晶圓切割所面臨的問題很多，包括切割技術難突破，關鍵設備被國外掌握及對環境的汙染等，但這些問題都被態金研發團隊所突破。
例如，薄型化晶圓的佔比愈來愈高，以往須搭配雷射加鑽石輪刀切割，一片四吋晶圓要切二至三小時才能切完，且容易破裂而損壞。但若改採用粒子束切割，則只需數分鐘就能切割完成，甚至厚度僅一百二十微米的薄化砷化鎵晶圓在切割時都不會破片，成功率近百分之百。
陳冠維指出，切割設備、關鍵零組件與耗材大多被國外掌握，設備建置費用昂貴，再加上現行霧化與減薄製程要使用非常多的酸液與化學藥品，除有工安危險外，也會對環境造成嚴重汙染。然而，已取得台美中韓四國專利的粒子束切割技術，卻完全沒有這些問題，該技術可望在將來取代鑽石輪刀，成為晶圓切割的主要方式。
陳冠維說，搭配不同的參數，液態合金粒子束也能切割ＰＣＢ板、薄化玻璃與薄化瓷板，製程效率高，切割粉材可完全回收再利用，相較傳統使鎢鋼銑刀，新製程既環保又節省成本。
