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ASML南科EUV技術培訓中心開幕

全球半導體微影技術領導者ASML在南科設立EUV全球技術培訓中心,廿日在南科舉行開幕式。 (記者盧萍珊攝)
 記者盧萍珊/南科報導
 全球半導體微影技術領導者荷商ASML(艾司摩爾)二十日在南科設立「EUV(極紫外光)全球技術培訓中心」,並舉行開幕儀式,培訓中心將花費一千三百五十萬歐元,提供技術理論與無塵室實機操作等多元培訓課程。
 廿日的開幕式邀請經濟部長王美花、ASML全球副總裁暨台灣區總經理陳文光、台南市副市長趙卿惠、南科管理局長林威呈等人剪綵。占地一千六百二十五平方公尺的培訓中心,將配置十四位講師,估計每年可提供數千小時課程,為ASML和客戶培訓三百六十名EUV技術工程師。
 陳文光受訪時說,該全球技術培訓中心,是荷蘭海外首處全球培訓中心,計劃投入約一千三百五十萬歐元。總部在荷蘭的ASML,在全球十六國家六十城市設有辦公室,員工超過二萬五千八百人,台灣則有二千八百人,台灣的EUV裝機規模領先全球,且台灣在全球半導體實力有目共睹,在台南設立EUV全球技術培訓中心,可讓在台營運服務更多樣化,實現全力支援客戶先進製程承諾。
 業者表示,南科為台積電先進製程大本營,包含七奈米、五奈米以及未來的三奈米等全節點升級製程,以及六奈米、四奈米等半節點升級製程都將落腳南科,這些先進製程都將採用EUV設備與技術,使ASML為服務關鍵客戶,業者曾評估在韓國、大陸評估,最後會落腳台灣在南科設立,台積電扮演關鍵角色。