供應商氣體疑受汙染已即時處理 台積電南科18a廠否認停產傳聞

記者盧萍珊／南科報導

晶圓代工龍頭台積電南科18a廠，29日晚間傳出製程出狀況，部分產線停擺。台積電澄清，沒有這回事，是有部分來自廠商供應的氣體疑似受到汙染，已即時調度其他氣體供應，對生產線並沒有顯著影響，晶片生產仍正常進行。

今日上午供應商被擋在廠區外，供應商研判可能是氧氣供應受到汙染，由於牽涉製程相當廣，台積電自昨晚至今天早上，已忙著處理相關事物。半導體業者說，半導體製程包括涵蓋蝕刻、物理及化學研磨，都需要使用氧氣，也是核心製程，台積電目前生產項目以蘋果下世代5G手機要用的核心處理器和超微新一代處理器為主。

台積電證實有部分來自廠商供應氣體疑似受到汙染，已即時調度其他氣體供應，此現象對產線並無造成顯著影響，晶片仍正常生產。