台日合作 沙崙化合物半導體實驗室啟用

記者盧萍珊、彭新茹∕綜合報導

由台灣和日本合作的化合物半導體粉體製程及晶體驗證實驗室，十五日在沙崙綠能科技示範場域啟用，藉此吸引國內外業者投入，有效率掌握半導體國產化關鍵材料技術，形成產研專業鏈結。

工研院指出，化合物半導體粉體製程及晶體驗證實驗室，可強化國內在化合物半導體關鍵材料自主開發能力，促使台灣成為高功率模組用封裝材料、散熱元件的國際主要供應鏈。

由工業技術研究院攜手日本半導體化學材料製造大廠德山株式會社、國內筑波科技共同成立，導入德山的粉體製程設備，再結合工研院粉體檢測平台以及國內業者，有效率掌握半導體國產化的關鍵材料技術。

透過化合物半導體粉體製程及晶體驗證實驗室的建置，也有望完成八吋半導體晶圓製程線上驗證，以高純粉體合成、晶體長晶、材料檢測分析等先進技術與關鍵設備，整合國內化合物半導體材料開發與驗證的技術平台。

工研院表示，此舉將推動產業升級，跨域合作加速產業落地與創新應用，在化合物半導體原物料技術前哨戰中彎道超車，搶攻下世代新商機。