埃米研究 成大成果登國際期刊

 

記者施春瑛∕台南報導

目前半導體製程主要是奈米等級，但產業界持續朝向更微小的「埃米（奈米的十分之一）」推進。成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱團隊利用自行組裝的設備，讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈米溝槽內，可操作精度達到埃米等級，這項成果已發表在國際期刊《Macromolecules》，受到國際矚目。

徐邦昱表示，團隊最自豪的是學生們靠著自行組裝的便宜設備，研發最先進的技術。台灣擁有領先全球的半導體技術，業者長期投入巨額資金研發，廠內設備動輒上億元，而成大是培養產業人才的搖籃，雖然設備比不上大廠，但這項成果也證明了創意與金錢並非等號，只要有心、有學以致用的專業能力與自我要求就能做到。

徐邦昱表示，礙於經費不足，在實驗室裡大多使用分子作用複雜、難以精密控制的液相反應，合成半導體奈米結構與薄膜，成膜潔淨度遠低於磊晶技術，研究的高度被迫屈就材料品質，常有扼腕遺珠之憾，也期待能與業者合作，挹注經費以獲得高品質的研究成果。

徐邦昱指出，這項研究成果廣受到國際矚目的原因在於打通了埃米級操作分子的多項技術瓶頸，成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。團隊利用分子間的埃米級電性，將不受控的二維聚集與三維線團、轉換成可受控的準三維自由度，趨動分子整齊排列在奈米溝槽中，攻克了過往認為不可操作的分子運動，成功將材料的操作精度推進至埃米尺度。

團隊成員楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承都是材料系的碩士生。徐邦昱表示，整個實驗室裡都是自行組裝的設備，像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收三個系統的設備，市面上根本找不到，即使有機會買到也要上千萬元，但團隊花了兩百萬元就組裝出來，而先進製程需要用到的無光罩雷射微影系統，市售價格達到六百到一千萬元，團隊則是花了二十多萬元就組裝出。